Pillar皮拉PC系列CMP研磨液供给泵

产品类型

用于CMP工艺中的液体供给与循环

产品简介

PC系列专为CPM工艺和固液混合流体的应用而设计。

 

材料

接触液体部件：PFA, PTFE

产品用途

用于化学进料设备、清洗系统和CMP设备的循环管路，处理固液混合流体。

产品规格

运行期间液体温度：10~100°C

 

最大吐出量：12、24、48L/min

 

供给空气压力：0.2~0.5MPaG