IWAKI易威奇FS型风囊泵

FS 系列是最新式的气动风囊泵，是 IWAKI 在积累多年的经验和成果的基础上应用高度的专有技术开发而成的。 通过增加泵的冲程速度，减小了产品尺寸、降低了产品重量及制造成本。 FS 系列泵操作方便，液温范围大。 泵的心脏部采用通用 R 型风囊，实现了高压吐出，确保了长寿命。 FS 系列可胜任各种艰巨任务： 从清洗液循环和CMP研磨液循环及化学液体的供给。 

高速冲程 

通过增加泵的冲程速度(最大可达240spm)，减小了尺寸、降低了重 量及制造成本，同时减少了脉动。 注：泵的冲程视型号而定。详情请参见规格一览表。

无污染设计 

所有与液体接触的零件都采用氟树脂制成。这样设计的目的是 为了确保泵的金属部分不会暴露于液体。泵的外表面也涂有氟树 脂。通过使用IWAKI自行开发的轴封(专利申请中)，显著降低了 空气室轴封颗粒的产生。

液温范围大/高压吐出 

由于可在5～180℃的温度范围内输送液体，且吐出压力达0.45MPa， 因而该系列泵不仅可用于清洗及CM P研磨工艺，还可用于化学液体 的供给。 

设备维护

接近开关可在不拆卸泵的情况下更换，无需定期紧固双头螺栓， 减少了停机时间。

传感器驱动方式 

该泵通过内置接近开关传送信号使电磁阀转向。 因此，与各种控制器连接后，可方便地控制或管理吐出。